创微微电子申请光罩翻转装置等专利, 防止光罩滑落及大夹持力损害

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创微微电子申请光罩翻转装置等专利, 防止光罩滑落及大夹持力损害
发布日期:2025-05-21 08:45    点击次数:188

金融界2025年5月10日消息,国家知识产权局信息显示,创微微电子(常州)有限公司申请一项名为“光罩翻转装置、设备及运输方法”的专利,公开号CN119929486A,申请日期为2025年3月。

专利摘要显示,本发明属于半导体生产设备制造技术领域,具体涉及光罩翻转装置、设备及运输方法,本装置包括:两翻转组件,其夹持端相对设置,且两夹持端之间具有夹持工位;其中,所述翻转组件朝向夹持工位的一侧具有两夹爪;以及,光罩置于夹持工位时,两翻转组件分别通过夹爪夹持光罩的对角,且夹爪与光罩的一边接触。通过设置两翻转组件,并在翻转组件上设置两夹爪,两翻转组件的夹爪分别夹持光罩的一对对角,并使每个夹爪与光罩的一边接触,以防止光罩从翻转组件上滑落,以及大夹持力损害光罩。

天眼查资料显示,创微微电子(常州)有限公司,成立于2020年,位于常州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析,创微微电子(常州)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目22次,专利信息74条,此外企业还拥有行政许可7个。

本文源自:金融界



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